规格型号:Quanta 200 FEG
制造厂商:FEI Company
主要技术指标:
本机装有固体背散射电子探头,E-T二次电子探头,LFGSED二次电子探头,GSED二次电子探头,X射线能谱议。可分别在高真空模式、低真空模式和环境扫描模式下进行二次电子、背散射电子形貌观察以及材料成分分析。
加速电压:500V~30kV
最大样品尺寸:50×50
高真空模式下观察分辨率<2nm,环境扫描模式<2nm
能谱的分辨率132eV元素测试范围:B5~U92
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